洁净无尘烘箱
该设备是一种新型工业级洁净干燥设备,采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计,通过耐高温超高效过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤,从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境,该设备广泛应用于半导体晶圆、液晶、光学模组、精密器具等干燥和热处理。
Class180NDA
Class360NDA
Class480NDA
Class800NDA
Class1000NDA
洁净度 class10/class100/class1000/class10000
温度范围 RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度450℃)
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ±0.5℃
温度均匀性 ≤±1.5% (可定制±1℃)
内部尺寸 W600×D500×H600mm
容积 180L
测试孔 直径30mm
电源电压 AC 380V (三相五线制)
选配装置 视窗、数显压差计、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等
洁净度 class10/class100/class1000/class10000
温度范围 RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度450℃)
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ±0.5℃
温度均匀性 ≤±1.5% (可定制±1℃)
内部尺寸 W600×D500×H600mm
容积 360L
测试孔 直径30mm
电源电压 AC 380V (三相五线制)
选配装置 视窗、数显压差计、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等
洁净度 class10/class100/class1000/class10000
温度范围 RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度450℃)
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ±0.5℃
温度均匀性 ≤±1.5% (可定制±1℃)
内部尺寸 W600×D500×H600mm
容积 480L
测试孔 直径30mm
电源电压 AC 380V (三相五线制)
选配装置 视窗、数显压差计、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等
洁净度 class10/class100/class1000/class10000
温度范围 RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度450℃)
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ±0.5℃
温度均匀性 ≤±1.5% (可定制±1℃)
内部尺寸 W600×D500×H600mm
容积 800L
测试孔 直径30mm
电源电压 AC 380V (三相五线制)
选配装置 视窗、数显压差计、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等
洁净度 class10/class100/class1000/class10000
温度范围 RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度450℃)
温度分辨率 0.1℃
温度波动度 ±0.5℃
温度均匀性 ≤±1.5% (可定制±1℃)
内部尺寸 W600×D500×H600mm
容积 1000L
测试孔 直径30mm
电源电压 AC 380V (三相五线制)
选配装置 视窗、数显压差计、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等
产品优势
控制系统
  • pd3i1温控系统
    采用日本欧姆龙程序温控表控温,PID自动演算,控温精度±0.1℃,带传感器断线报警功能,带曲线模式,超温抑制,超调功能,控温精准,过冲低,带超温警报保护功能,确保产品运行安全
    升级版追随性温控系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,程序阶段升温进口温控器,高精度的温度探头,通过加热组件与降温单元融合性控制实现对箱内温度的线性控制,目标温度与实际温度跟随误差正负1.5摄氏度以内
  • pd3i2洁净控制系统
    采用水平/垂直送风,经耐高温高效过滤器H.E.P.A(特殊风道设计)送风,0.3um直径PARTICLE过滤效率99.997%以上
    洁净度:class10/class100/class1000/class10000
  • pd3i3氧含量控制系统
    无氧烘箱氧含量:≤500ppm(可定制≤5ppm)
    氮气排氧控制系统采用2路氮气导入回路,各向箱内提供50L/min+100L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,电子式双流量自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。
  • 物联网系统
    双向型数传模块:可对接MES系统/GEM系统等
    可加装扫描枪、工控机等
产品保障
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