高温无氧洁净烘箱|烘箱

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高温无氧洁净烘箱

高温洁净无氧烘箱是一款专门设计用于在洁净无氧环境下进行烘烤的设备，主要应用于固化半导体（光刻胶PI、PBO固化）、PLB固化、IC封装（铜基板、银胶，硅胶、环氧树脂）玻璃基板、柔板烘烤、高精度退火处理等。它的主要特点是能够在高温烘烤下创造一个低氧甚至无氧的洁净环境，以防止物料在加热过程中因接触氧气而发生氧化反应或被微小尘埃颗粒污染。

GHG180NWD

GHG360NWD

GHG480NWD

GHG800NWD

GHG1000NWD

洁净度	class10/class100/class1000/class10000
氧含量	≤500ppm（可定制≤5ppm）
温度范围	RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀性	≤±1.5% （可定制±1℃）
内部尺寸	W600×D500×H600mm
容积	180L
电源电压	AC 380V (三相五线制)
选配装置	测试孔、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等

洁净度	class10/class100/class1000/class10000
氧含量	≤500ppm（可定制≤5ppm）
温度范围	RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀性	≤±1.5% （可定制±1℃）
内部尺寸	W600×D600×H1000mm
容积	360L
电源电压	AC 380V (三相五线制)
选配装置	测试孔、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等

洁净度	class10/class100/class1000/class10000
氧含量	≤500ppm（可定制≤5ppm）
温度范围	RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀性	≤±1.5% （可定制±1℃）
内部尺寸	W800×D600×H1000mm
容积	480L
电源电压	AC 380V (三相五线制)
选配装置	测试孔、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等

洁净度	class10/class100/class1000/class10000
氧含量	≤500ppm（可定制≤5ppm）
温度范围	RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀性	≤±1.5% （可定制±1℃）
内部尺寸	W1000×D800×H1000mm
容积	800L
电源电压	AC 380V (三相五线制)
选配装置	测试孔、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等

洁净度	class10/class100/class1000/class10000
氧含量	≤500ppm（可定制≤5ppm）
温度范围	RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
温度分辨率	0.1℃
温度波动度	±0.5℃
温度均匀性	≤±1.5% （可定制±1℃）
内部尺寸	W1000×D800×H1200mm
容积	1000L
电源电压	AC 380V (三相五线制)
选配装置	测试孔、程序段控温、人机智能界面、多通道温度记录仪、水冷降温、UPS备用电源、扫描枪、MES/GEM系统、工控机等

产品优势

温度

RT（常温）+10~200℃（可定制最高温度600℃）
洁净度

采用水平/垂直送风，经耐高温高效过滤器H.E.P.A(特殊风道设计)送风，0.3um直径PARTICLE过滤效率99.997%以上，箱内洁净度最高可达class10。
氧含量

≤500ppm（可定制≤5ppm），带耐高温氧含量控制仪，氧化锆氧含量传感器，耐高温自吸泵一套，可实时检测氧含量并显示实际数值，同时配备氧含量超标报警功能。
门禁系统

电磁安全门，设备加热烘烤过程箱门锁紧，确保内部无氧安全洁净烘烤环境。
安全保护装置

门检测开关、温度异常、氧浓度异常、过电流漏电保护、马达过载保护、机台异常警示（柱状三色指示灯）、氮气流量检测、冷却水流量检测等。
优质材质

内胆采用SUS304/316L2.0mm厚镜面不锈钢板。外壳采用1.5mm厚冷轧钢板经防锈处理后喷塑或SUS304/316L拉丝/镜面不锈钢板。
保温材质

采用正厂中央玻璃纤维公司出品，120K级高密度陶瓷纤维人工填充，保温性能极佳。
耐高温密封条

采用食品级无氟硅橡胶密封条，耐高温，抗老化，密封性好，可连续耐高温280℃以上。
电热器

不锈钢无尘加热管，选配可控制全功率运行或半功率运行。
高承重脚轮

水平调节福马轮，单个承重大于500kg。

控制系统

温控系统

采用日本欧姆龙程序温控表控温，PID自动演算，控温精度±0.1℃，带传感器断线报警功能，带曲线模式，超温抑制，超调功能，控温精准，过冲低，带超温警报保护功能，确保产品运行安全

升级版追随性温控系统：采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面，程序阶段升温进口温控器，高精度的温度探头，通过加热组件与降温单元融合性控制实现对箱内温度的线性控制，目标温度与实际温度跟随误差正负1.5摄氏度以内
洁净控制系统

采用水平/垂直送风，经耐高温高效过滤器H.E.P.A(特殊风道设计)送风，0.3um直径PARTICLE过滤效率99.997%以上

洁净度：class10/class100/class1000/class10000
氧含量控制系统

无氧烘箱氧含量：≤500ppm（可定制≤5ppm）

氮气排氧控制系统采用2路氮气导入回路，各向箱内提供50L/min+100L/min的氮气，每路配套进口电磁阀，电子式双流量自动切换，在箱内达到无氧环境后，自动切换至低流量氮气，大大节省氮气消耗量，也可根据工艺制程要求，自行设定，满足多种工艺需求。
物联网系统

双向型数传模块：可对接MES系统/GEM系统等

可加装扫描枪、工控机等

产品保障

安全保护装置

三重超温保护：1.出现超温现象，温控器会停止加热，无加热信号输出。 2.加热系统电路的交流接触器会跳掉，停止给加热管供电。 3.独立限温保护器，单独一套温度监控传感器，监控烘箱工作室温度，当到达警戒值，会强行关闭加热系统。

技术资料

产品使用说明书，产品检验合格证，产品售后保修卡。

质量保证

本公司质量保证体系严格按照ISO9001质量管理体系之要求执行。
包装运输方式

纸箱包装，箱体表面配有防护泡沫，汽车运输。

保修期

本公司所有产品实行三包，质量保证期叁年，终身维修。

售后服务

从验收之日起，设备在质保期内，客户在遵守正常使用规则的条件下，因设备不能正常工作时，我公司在得到通知后24小时内拿出解决方案，必要时48小时内到达现场解决问题（人力不可抗拒的因素除外）

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