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HMDS 真空烘箱
HMDS烘箱是一款专为半导体制造和微电子工艺设计的特殊烘箱,主要用于在晶圆表面涂覆六甲基二硅氮烷(HMDS),以增强光刻胶与基材的附着力。其核心功能是通过精确控制温度、洁净度及气体环境,完成HMDS的均匀涂覆与溶剂挥发,确保光刻工艺的稳定性和良品率。 主要用于晶圆表面疏水化处理,提升光刻胶附着力;去除基材表面微量水分,防止光刻胶脱落或图形缺陷;兼容半导体前道制程(如光刻、刻蚀)的关键预处理步骤,主要适用领域半导体芯片制造、MEMS(微机电系统)、先进封装、光学器件加工等。
HMDS6020
HMDS6090
HMDS6210
电源电压
220V/50HZ
控温范围
RT+10℃-250℃
温度分辨率
0.1℃
温度波动度
≤±0.5℃
达到真空度
≤133Pa
工作室尺寸(mm)
W300*D300*H375
外形尺寸(mm)
W465*D465*H725
层板数量
1块
功率
1.5KW
电源电压
220V/50HZ
控温范围
RT+10℃-250℃
温度分辨率
0.1℃
温度波动度
≤±0.5℃
达到真空度
≤133Pa
工作室尺寸(mm)
W450*D450*H450
外形尺寸(mm)
W850*D700*H1500
层板数量
2块
功率
3KW
电源电压
380V/50HZ
控温范围
RT+10℃-250℃
温度分辨率
0.1℃
温度波动度
≤±0.5℃
达到真空度
≤133Pa
工作室尺寸(mm)
W560*D640*H600
外形尺寸(mm)
W720*D820*H1600
层板数量
3块
功率
4KW
产品优势
温度
RT(常温)+10~200℃(可定制最高温度600℃)
洁净度
采用水平/垂直送风,经耐高温高效过滤器H.E.P.A(特殊风道设计)送风,0.3um直径PARTICLE过滤效率99.997%以上,箱内洁净度最高可达class10。
氧含量
≤500ppm(可定制≤5ppm),带耐高温氧含量控制仪,氧化锆氧含量传感器,耐高温自吸泵一套,可实时检测氧含量并显示实际数值,同时配备氧含量超标报警功能。
门禁系统
电磁安全门,设备加热烘烤过程箱门锁紧,确保内部无氧安全洁净烘烤环境。
安全保护装置
门检测开关、温度异常、氧浓度异常、过电流漏电保护、马达过载保护、机台异常警示(柱状三色指示灯)、氮气流量检测、冷却水流量检测等。
优质材质
内胆采用SUS304/316L2.0mm厚镜面不锈钢板。外壳采用1.5mm厚冷轧钢板经防锈处理后喷塑或SUS304/316L拉丝/镜面不锈钢板。
保温材质
采用正厂中央玻璃纤维公司出品,120K级高密度陶瓷纤维人工填充,保温性能极佳。
耐高温密封条
采用食品级无氟硅橡胶密封条,耐高温,抗老化,密封性好,可连续耐高温280℃以上。
电热器
不锈钢无尘加热管,选配可控制全功率运行或半功率运行。
高承重脚轮
水平调节福马轮,单个承重大于500kg。
控制系统
温控系统
采用日本欧姆龙程序温控表控温,PID自动演算,控温精度±0.1℃,带传感器断线报警功能,带曲线模式,超温抑制,超调功能,控温精准,过冲低,带超温警报保护功能,确保产品运行安全
升级版追随性温控系统:采用日本三菱PLC+7寸彩色触摸屏人机交互界面,程序阶段升温进口温控器,高精度的温度探头,通过加热组件与降温单元融合性控制实现对箱内温度的线性控制,目标温度与实际温度跟随误差正负1.5摄氏度以内
洁净控制系统
采用水平/垂直送风,经耐高温高效过滤器H.E.P.A(特殊风道设计)送风,0.3um直径PARTICLE过滤效率99.997%以上
洁净度:class10/class100/class1000/class10000
氧含量控制系统
无氧烘箱氧含量:≤500ppm(可定制≤5ppm)
氮气排氧控制系统采用2路氮气导入回路,各向箱内提供50L/min+100L/min的氮气,每路配套进口电磁阀,电子式双流量自动切换,在箱内达到无氧环境后,自动切换至低流量氮气,大大节省氮气消耗量,也可根据工艺制程要求,自行设定,满足多种工艺需求。
物联网系统
双向型数传模块:可对接MES系统/GEM系统等
可加装扫描枪、工控机等
产品保障
安全保护装置
三重超温保护:1.出现超温现象,温控器会停止加热,无加热信号输出。 2.加热系统电路的交流接触器会跳掉,停止给加热管供电。 3.独立限温保护器,单独一套温度监控传感器,监控烘箱工作室温度,当到达警戒值,会强行关闭加热系统。
技术资料
产品使用说明书,产品检验合格证,产品售后保修卡。
质量保证
本公司质量保证体系严格按照ISO9001质量管理体系之要求执行。
包装运输方式
纸箱包装,箱体表面配有防护泡沫,汽车运输。
保修期
本公司所有产品实行三包,质量保证期叁年,终身维修。
售后服务
从验收之日起,设备在质保期内,客户在遵守正常使用规则的条件下,因设备不能正常工作时,我公司在得到通知后24小时内拿出解决方案,必要时48小时内到达现场解决问题(人力不可抗拒的因素除外)
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