上海某半导体公司高温无氧洁净烘箱定制项目
专业定制解决方案助力半导体材料高温处理工艺升级
客户背景
上海某半导体公司是一家专注于半导体材料与器件研发、生产的高新技术企业。其生产工艺对生产设备的洁净度、氧含量及温控精度要求极高。随着业务规模的扩大，客户亟需一批能在高温无氧环境下稳定运行的洁净烘箱，以满足半导体材料高温处理过程中的严苛需求。
客户需求
高温无氧环境
烘箱需在高温条件下维持稳定的无氧环境（氧含量≤10ppm）
高洁净度
箱内洁净度需达到百级标准，避免污染半导体材料
精准温控
温度均匀性需控制在±1%以内，确保工艺稳定性
定制化设计
需适配客户生产车间的空间布局，优化气体循环系统
智能化操作
配备智能控制系统，便于精准调节和便捷操作
解决方案
先进控温技术
采用高精度PID温度控制器，确保温度均匀性达±1%
氮气控制系统
精准调节氧含量，实测可稳定控制在10ppm以下
百级洁净环境
优化气流设计，确保箱内洁净度符合半导体生产标准
定制化设计
根据客户车间布局定制特殊尺寸，优化气体循环系统
智能人机交互
配备触摸屏操作界面，实现精准控温及便捷管理
定制化高温无氧洁净烘箱设备特写
应用场景
成果与反馈
经现场实测，设备性能全面达标：
±1%
温度均匀性
<10ppm
氧含量控制
百级
洁净度等级
客户对设备性能及定制化服务表示高度认可，并追加订购一批定制高温无氧洁净烘箱，以满足后续扩产需求。
案例价值
本项目的成功实施，帮助客户解决了半导体材料高温处理中的关键环境控制难题，提升了生产良率与效率，进一步巩固了其在半导体行业的技术竞争力。